반응형 진공펌프1 엘오티베큠 - 21년 3분기 국내 유일의 진공기술 전문기업 반도체 제조 전공정 (웨이퍼 공정~금속배선공정까지)의 대부분은 진공 환경을 필요로 하며, Fore Vacuum 영역을 담당하는 건식 진공펌프는 모든 공정에서 범용으로 사용되는 필수 장비로 시장규모는 아래와 같다. 반도체 소자 제조공정에 필요한 진공상태를 만들기 위해 공정 챔버 내부를 10-2～10-4 Torr 수준의 진공상태를 생성/유지하여 박막 및 패턴 형성 등반도 채소 자제 조를 위한 주요 공정환경을 가능하게 하는 핵심 제품으로 그동안 해외 업체가 독과점 중이던 Etching 공정용 건식 진공펌프의 국산화에 성공했다. 반도체, 디스플레이 등 고난도의 공정에 투입되는 진공펌프의 기술은 스웨덴, 독일, 일본에서 주요기술을 보유하고 있어 국내업체는 기술력 등의 진입장벽으로 인.. 2022. 1. 8. 이전 1 다음 반응형
